InVue® GV148 液體濃度監(jiān)測器

簡要描述：InVue® GV148 液體濃度監(jiān)測器可以實時提供測量過程流體的濃度，用于化學混合、提升濃度和稀釋，無需中斷過程檢測。

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詳情介紹

集成一體的實時過程監(jiān)控系統(tǒng)

InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器可以實時提供測量過程流體的濃度，用于化學混合、提升濃度和稀釋，無需中斷過程檢測。

InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器集成在一個小型密封外殼中，可提供性價比高的濃度監(jiān)測，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工廠生產系統(tǒng)的工藝效率提高。這種工藝可以使過程控制更為嚴格，從而提高工藝效率，減少成本投入，也減少廢料的產生。

用戶軟件強大

采用基于Windows®的HMI軟件應用程序來支持 GV148配置和實時監(jiān)控。該軟件允許用戶:

·獲得實時折射率、流體溫度和濃度信息

·自定義折射率以及濃度切換

·獲取和分析化學品特定溫度補償的數據

·傳感器平衡操作

·查看當前警告信息、系統(tǒng)事件和警告歷史信息

·折射率歸零

·配置模擬輸出

經過驗證的折射率檢測技術

GV148監(jiān)測儀采用經過驗證的折射率檢測技術，外觀小巧，可提供準確、安全和可重復的液體濃度測量方法。在線傳感器可精確測量過程流體的折射率（IoR）和溫度。然后，我們將利用這些信息來計算工藝中液體的濃度。

工作原理

使用折射率技術，當光從平面玻璃或液體表面反射到光電二極管檢測器（PDA）時，InVue®GV148 濃度監(jiān)測器開始工作。反射角是由液體與窗口之間的折射率比決定的。定制的算法可以檢測反射光強度的微小變化。這種可以反射幾何形狀的能力和小型化設計是InVue®GV148的重大特點。

應用領域

·H2 O2 溶液混合

·研磨液稀釋

·專有添加劑混合

·全球和本地循環(huán)監(jiān)控

·批量溶液混合監(jiān)控

·容器壽命檢測

·CMP后清潔溶液混合

功能與優(yōu)勢

基于折射率的測量	為過程控制提供實時濃度和溫度驗證快速響應時間，用于即時偏差檢測測量各種介質中的濃度，包括非導電流體非直接接觸式，保持化學物質純度和潔凈度符合在線工藝效率要求
含氟聚合物和藍寶石的超純潤濕表面	保持化學物質的純度和潔凈
小巧型電子產品	最小化整體工具體積輕松集成到新的和現(xiàn)有的工具空間
HMI軟件	實時數據記錄和分析工具允許為定制專有化學品濃度監(jiān)測用于密切監(jiān)控系統(tǒng)事件，參數變化和警報歷史，包括詳細的事件日志
多種通信選項	RS485、RS422、4-20mA 靈活滿足各種控制系統(tǒng)
全密封傳感器	在惡劣的環(huán)境中依舊提供準確性、可重復性和可靠性
背景光扣除算法	在背景光存在的情況下依舊保持高準確性
傳感器無耗材	只需要最少的硬件和預防性維護
鏡面清潔端口	便于手動清潔藍寶石鏡面
LED狀態(tài)燈	提供監(jiān)視器頻次、通信和錯誤的指示
可選的N2/DI自動* 原位鏡面清潔器	最大限度地減少維護停機時間，特別是在研磨液和親水性化學品中

*配備適當的閥門和控制器

功能與優(yōu)勢

*親水性的組件

**對于折射率超出此范圍的流體，請聯(lián)系奧法美嘉

配置